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實踐證明深紫外光刻工藝深受多種類微量污染物的影響，對很多微量污染物極為敏感，比如氨氣或者酸性氣體都會給半導(dǎo)體生產(chǎn)帶來危害，盡管隨著深紫外耐腐蝕材料技術(shù)的發(fā)展，已經(jīng)減少了長時間持續(xù)實時監(jiān)測，而實際上AMC空氣分析儀對空氣分子污染（AMC）的實...

傅里葉紅外分析儀由紅外燈源、光闌、干涉儀、樣品室、檢測器、各種紅外反射鏡、數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)等組成。樣品室的容積應(yīng)盡可能大，應(yīng)能安裝各種小型紅外配件，如各種衰減全反射（ATR）配件、漫反射配件、鏡面反射配件等。傅里葉紅外分析常見的功能之一是官能團(tuán)...

光聲光譜氣體分析儀集成了高精度、高選擇性、光譜可調(diào)可控的半導(dǎo)體激光光源和寬動態(tài)范圍的懸臂梁增強(qiáng)光聲光譜技術(shù)。零背景噪聲技術(shù)提供高穩(wěn)定性，無需重復(fù)校準(zhǔn)數(shù)月。儀器工作在非諧振模式，可以使用不同的調(diào)制模式同時測量來自兩個激光源的信號，得到的光聲光...

溶解氧分析儀計算溶解氧含量的數(shù)據(jù)效果比較好；另一個外部因素是水中植物的光合作用。測得的溶解氧含量會略有變化。溶解氧的具體含量與溫度、氣壓和鹽分含量密切相關(guān)。一般溫度越高，溶解鹽越高，水中溶解氧含量越低；氣壓越高，水中的溶解氧越高，有利于水生...

由于用途廣泛，CF4可以通過多種方式進(jìn)入土壤、水體和大氣中，形成環(huán)境污染。通過在大氣中擴(kuò)散和釋放，進(jìn)入平流層，破壞臭氧層。因此，世界上許多國家對此類污染物對臭氧層的影響開展了大量的研究工作，證實了臭氧層的喪失與這一系列氣體在大氣中釋放的自由...

合成氣監(jiān)控主要有三個用途：安全監(jiān)控，監(jiān)控超標(biāo)后會引起爆炸危險的介質(zhì)，測量結(jié)果參與聯(lián)鎖控制，確保人員和設(shè)備的安全。過程控制，監(jiān)控過程生產(chǎn)狀態(tài)是否正常，以保證產(chǎn)品的質(zhì)量。環(huán)保監(jiān)測：監(jiān)測排放到環(huán)境中的廢氣中能污染大氣的成分是否超標(biāo)，控制生產(chǎn)過程中...